简介： 本发明公开了一种利用机械球磨法合成磷化硅的方法。该合成方法是在惰性气氛保护下，将磷化锂与四氯化硅的混合物，通过机械球磨的方法进行反应制备；待反应完成后，用有机溶剂溶解杂质后过滤得到固体产物，烘干即得到磷化硅。本发明可在室温下机械球磨合成磷化硅，具有球磨反应能耗低，环境友好，且易于工业化大规模生产的优势。