横向激励剪切模式的声学谐振器
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横向激励剪切模式的声学谐振器
来源:北方有色网
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简介:
本实用新型涉及一种横向激励剪切模式的声学谐振器,包括:声学镜,包括至少一第一声反射层和至少一第二声反射层,各所述第一声反射层的声阻抗小于各所述第二声反射层的声阻抗;压电层,设于所述声学镜上,所述压电层包括单晶材料的铌酸锂和/或单晶材料的钽酸锂;电极单元,设于所述压电层上;横向反射器,设于所述压电层上。本实用新型可以在3GHz以上的频率下具有高机电耦合系数和高Q值。
本实用新型涉及一种横向激励剪切模式的声学谐振器,包括:声学镜,包括至少一第一声反射层和至少一第二声反射层,各所述第一声反射层的声阻抗小于各所述第二声反射层的声阻抗;压电层,设于所述声学镜上,所述压电层包括单晶材料的铌酸
锂
和/或单晶材料的钽酸锂;电极单元,设于所述压电层上;横向反射器,设于所述压电层上。本实用新型可以在3GHz以上的频率下具有高机电耦合系数和高Q值。
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标签:加工技术
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