简介： 本发明公开了一种飞秒紫外光激光器，上述飞秒紫外光激光器由光连接的种子源、脉冲展宽器、光放大器、脉冲压缩模块及三倍频模块组成；所述种子源为全光纤被动锁模种子源或固体锁模种子源；所述脉冲展宽器为全光纤展宽器或空间光展宽器；所述光放大器为光连接的多级光放大器；所述脉冲压缩模块为棱镜对或光栅对或啁啾体布拉格光栅(CVBG)；所述三倍频模块依次包括1/2波片、偏振分光棱镜、凸透镜、凹透镜、二倍频晶体、三倍频晶体、吸光块和紫外窗片。二倍频晶体为一类相位匹配的三硼酸锂(LBO)晶体，三倍频晶体为二类相位匹配的三硼酸锂(LBO)晶体，且三倍频晶体后表面不镀膜并切紫外光布鲁斯特角θ_B1，二倍频晶体前表面不镀膜并切红外光布鲁斯特角θ_B2。按照本发明实现的飞秒紫外光激光器，结构简单稳定，寿命长，适合产生高功率飞秒紫外光。