简介： 本发明公开了一种无腐蚀性的LiF清洗剂，该清洗剂是由无机碱、螯合剂、有机助剂、表面活性剂及高纯水组成。本发明通过特定的乙二醇基曼尼希碱表面活性剂与无机强碱混配，能提高对锂盐的溶解度，有效解决现有OLED掩膜版及坩埚清洗效率低、对锂盐溶解性差及易造成腐蚀等问题，且其易清洗无残留，具有良好应用前景。