用于高温的超声波传感器及其制造方法
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用于高温的超声波传感器及其制造方法
来源:北方有色网
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简介: 本发明提供了一种超声波传感器,其包括由铌酸锂(LN)单晶制成的压电振子,并通过产生高超声波输出可以在高温区域中使用,并且防止在晶体中生成裂纹。本发明的压电振子1具有通过使正交于LN晶体中的Y轴的面围绕X轴旋转36°±2°而作为输出面得到的面(Y轴36°切割面)。所述超声波传感器还包括由钛制成的延迟器3和用于将延迟器3的一个表面连接到输出面的连接层2。连接层2由银和烧结玻璃制成,并且所述烧结玻璃具有范围为5×10-6K-1至15×10-6K-1的线性膨胀系数。
本发明提供了一种超声波传感器,其包括由铌酸(LN)单晶制成的压电振子,并通过产生高超声波输出可以在高温区域中使用,并且防止在晶体中生成裂纹。本发明的压电振子1具有通过使正交于LN晶体中的Y轴的面围绕X轴旋转36°±2°而作为输出面得到的面(Y轴36°切割面)。所述超声波传感器还包括由钛制成的延迟器3和用于将延迟器3的一个表面连接到输出面的连接层2。连接层2由银和烧结玻璃制成,并且所述烧结玻璃具有范围为5×10-6K-1至15×10-6K-1的线性膨胀系数。
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