单晶压电体声波谐振器、滤波器及电子设备
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单晶压电体声波谐振器、滤波器及电子设备
来源:北方有色网
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简介:
本发明涉及一种体声波谐振器,包括:基底;声学镜空腔;底电极;顶电极;和单晶压电层,设置在底电极与顶电极之间,其中:压电层的下表面与基底的上表面之间设置有支撑结构,压电层与基底大体平行布置;所述底电极的下侧设置有下钝化层,所述下钝化层覆盖所述底电极在所述空腔内的表面的至少一部分;且所述下钝化层的边界在水平方向上处于所述压电层的边界的内侧。所述压电层为单晶铌酸锂压电层或单晶钽酸锂压电层。本发明还涉及一种滤波器,和一种电子设备。
本发明涉及一种体声波谐振器,包括:基底;声学镜空腔;底电极;顶电极;和单晶压电层,设置在底电极与顶电极之间,其中:压电层的下表面与基底的上表面之间设置有支撑结构,压电层与基底大体平行布置;所述底电极的下侧设置有下钝化层,所述下钝化层覆盖所述底电极在所述空腔内的表面的至少一部分;且所述下钝化层的边界在水平方向上处于所述压电层的边界的内侧。所述压电层为单晶铌酸
锂
压电层或单晶钽酸锂压电层。本发明还涉及一种滤波器,和一种电子设备。
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