简介： 一种多层膜负极极片及其制作方法,包括金属基片,在金属基片上用磁控溅射技术沉淀至少一层无定形碳膜和一层掺杂硅膜;掺杂硅膜外涂覆一层聚合物涂层;金属基片为铜片或铝片,掺杂硅膜中的掺杂元素为铝、铜、铁、锡、硼元素中的一种或几种;无定形碳膜和掺杂硅膜的总厚度为5-20μm;聚合物涂层的厚度为10-50μm。本发明多层膜负极极片,采用磁控溅射技术交替沉淀多层掺杂硅膜和无定型碳膜,负极材料膜的厚度更薄,活性材料硅一掺杂元素结合力更高,所作电池的充放电容量、电流密度、放电能力和循环性能更优;直接涂覆聚合物涂层,省去了传统电池专用隔膜,降低了成本,提高了生产效率,减少了内部流动的电解液,提高了电池安全性能。可用于固态锂离子电池和液态锂离子电池。