表面声波器件及其制造方法
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表面声波器件及其制造方法
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简介: 表面声波器件及其制造方法,一种表面声波器件,其包括:压电基板,该压电基板在一个表面上形成有两个或更多个谐振器;支撑基板,该支撑基板与该压电基板的另一表面接合。在该表面声波器件中,该多个谐振器中的至少两个具有在表面声波传播方向上彼此交叠的激励部分,并且去除或改良具有多个交叠部分的多个谐振器中的至少一对交叠的谐振器之间的该压电基板的至少一部分,以具有不同的特性。
表面声波器件及其制造方法,一种表面声波器件,其包括:压电基板,该压电基板在一个表面上形成有两个或更多个谐振器;支撑基板,该支撑基板与该压电基板的另一表面接合。在该表面声波器件中,该多个谐振器中的至少两个具有在表面声波传播方向上彼此交叠的激励部分,并且去除或改良具有多个交叠部分的多个谐振器中的至少一对交叠的谐振器之间的该压电基板的至少一部分,以具有不同的特性。
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