简介： 本申请涉及异质集成器件制备技术领域，提供了一种纵向泄漏声表面波谐振器及滤波器，纵向泄漏声表面波谐振器包括支撑衬底、设置在支撑衬底上的压电薄膜以及设置在压电薄膜上的电极阵列。其中，支撑衬底可以为旋转切型的碳化硅衬底，压电薄膜的材料可以为铌酸锂或者钽酸锂。通过采用旋转切型的碳化硅支撑衬底与压电薄膜相结合的谐振器，可以在不改变衬底材料声速的前提下，降低反谐振频率附近的损耗，使得谐振器具有更为宽频的极低损耗区，进而可以实现更优异的谐振器和滤波器性能。