简介： 本发明属于锂离子电池领域，提供了一种氟磷酸盐薄膜固体电解质的制备方法与应用。所述氟磷酸盐薄膜固体电解质的制备方法包括的步骤有：将氟磷酸盐的靶材在惰性气氛或者含氮气氛下与锂源添加剂进行共溅射处理，在基底上生长氟磷酸盐复合固体电解质薄膜。本发明制备的氟磷酸盐复合固态电解质薄膜具有离子电导率高、电子电导率低、电位窗口宽等优点，可以做为全固态薄膜电池的电解质使用。所述氟磷酸盐复合薄膜固体电解质的制备方法工艺简单，应用于全固态电池中能够显著提高电池的能量密度并极大改善循环性能。