声表面波谐振器及滤波器
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声表面波谐振器及滤波器
来源:北方有色网
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简介: 本发明实施例公开了一种声表面波谐振器及滤波器。该谐振器包括依次层叠设置的支撑层、温度补偿层、压电层、叉指换能器层和调频层;叉指换能器层包括多个叉指换能器,压电层的材料包括X‑40Y铌酸锂,支撑层的声体波传播速度大于压电层的声表面波传播速度;调频层至少覆盖叉指换能器。本发明实施例对声表面波谐振器的压电层以及支撑层进行改进,由于X‑40Y铌酸锂传播声波的速度较高,使得谐振器的工作频率大幅提升,达到5G甚至5G以上频率;支撑层的声体波传播速度大于压电层的声表面波传播速度,能量被限制在表面,不会产生体波泄漏,从而减小器件损耗;本发明实施例增加调频层,保护叉指换能器的同时可调节谐振器的频率。
本发明实施例公开了一种声表面波谐振器及滤波器。该谐振器包括依次层叠设置的支撑层、温度补偿层、压电层、叉指换能器层和调频层;叉指换能器层包括多个叉指换能器,压电层的材料包括X‑40Y铌酸,支撑层的声体波传播速度大于压电层的声表面波传播速度;调频层至少覆盖叉指换能器。本发明实施例对声表面波谐振器的压电层以及支撑层进行改进,由于X‑40Y铌酸锂传播声波的速度较高,使得谐振器的工作频率大幅提升,达到5G甚至5G以上频率;支撑层的声体波传播速度大于压电层的声表面波传播速度,能量被限制在表面,不会产生体波泄漏,从而减小器件损耗;本发明实施例增加调频层,保护叉指换能器的同时可调节谐振器的频率。
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