简介:
公开了从基材表面除去一部分胶结剂相的方法,该基材由至少第一相被该胶结剂相结合在一起的粒子组成,其中通过用含蚀刻气和第二气的气流与表面接触来蚀刻该表面。该第二气是一种或多种在蚀刻期间不与该基材或该除去的胶结剂部分反应且不改变所说基材的氧化状态的气体。
公开了从基材表面除去一部分胶结剂相的方法,该基材由至少第一相被该胶结剂相结合在一起的粒子组成,其中通过用含蚀刻气和第二气的气流与表面接触来蚀刻该表面。该第二气是一种或多种在蚀刻期间不与该基材或该除去的胶结剂部分反应且不改变所说基材的氧化状态的气体。