玻璃集成光学器件中光波导结构
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玻璃集成光学器件中光波导结构
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简介: 本实用新型公开了一种玻璃集成光学器件中光波导结构,包括玻璃基片,所述玻璃基片的内侧壁粘接有铌酸锂层,所述铌酸锂层的下表面粘接有芯层,所述玻璃基片的外侧壁涂覆有掩模层,所述掩模层的上方设有板体,所述板体靠近掩模层的一侧粘接有锡簸纸,所述锡簸纸远离板体的一侧粘接于掩模层远离玻璃基片的一侧,所述板体与玻璃基片的外侧壁涂覆有光刻胶层,所述光刻胶层的上表面粘接有下包层,所述下包层的上表面粘接有上包层;本光波导结构通过设置玻璃基片、铌酸锂层与芯层,具有良好的电光特性,可以大大降低器件功耗,具有最低的传输损耗和与光纤的耦合损耗,而且成本低廉。
本实用新型公开了一种玻璃集成光学器件中光波导结构,包括玻璃基片,所述玻璃基片的内侧壁粘接有铌酸层,所述铌酸锂层的下表面粘接有芯层,所述玻璃基片的外侧壁涂覆有掩模层,所述掩模层的上方设有板体,所述板体靠近掩模层的一侧粘接有簸纸,所述锡簸纸远离板体的一侧粘接于掩模层远离玻璃基片的一侧,所述板体与玻璃基片的外侧壁涂覆有光刻胶层,所述光刻胶层的上表面粘接有下包层,所述下包层的上表面粘接有上包层;本光波导结构通过设置玻璃基片、铌酸锂层与芯层,具有良好的电光特性,可以大大降低器件功耗,具有最低的传输损耗和与光纤的耦合损耗,而且成本低廉。
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