简介： 本发明公开了一种高品质波导结构及制备方法，其制备包括铌酸锂薄膜表面镀金属铬膜、飞秒激光直写铬膜作掩模层、化学机械抛光、化学气相沉积以及铌酸锂薄膜键合等步骤。本发明方法的制备流程优化了化学机械抛光工艺制备波导的构型同时具备超低传输损耗的特性、优异电光特性，为实现铌酸锂光子器件迈向产业化提供了关键步骤，同时也可推进微纳光子学、集成光学以及微波光子学的发展。