简介： 本发明公开了一种温度自补偿、宽量程的柔性无线无源声表面波压强传感器，包括作为压电层的铌酸锂单晶压电薄膜；形成在所述铌酸锂单晶压电薄膜上的至少一个声表面波传感单元，每个声表面波传感单元包括形成在所述铌酸锂单晶压电薄膜上的单端谐振器、与所述单端谐振器电气连接的微带天线；覆盖在所述铌酸锂单晶压电薄膜上的密闭盖，所述密闭盖与所述铌酸锂单晶压电薄膜形成密闭腔体。该柔性无线无源声表面波压强传感器以铌酸锂单晶压电薄膜作为压电层，使得其具有宽量程，能够检测0～4MPa范围内的压强，还具有温度自补偿功能，有利于提高柔性无线无源声表面波压强传感器的精度。