简介： 本发明是关于一种靶材，特别是关于一种电致变色材料用靶材、制备方法及其应用。所述的电致变色材料用靶材的分子式为LixAyOz，式中1≤x≤6，4≤y≤9，9.5≤z≤27.5，x+y＝10，所述的A为过渡金属。所述的靶材的制备方法包括：压制胚体，将氧化锂粉与过渡金属粉混合制得混合粉，在1-40×105N的压力下压制成胚体；烧结，将制成的胚体在900-1600℃中烧结0.1-4h，制成靶材。采用本发明所述的电致变色材料用靶材，用溅射沉积法制备电致变色薄膜，所制得的电致变色薄膜中含有Li+，因此不需要进行锂化过程，且锂化率较高，简化了生产工艺，提高了生产效率，克服了现有锂化过程易引入杂质且Li+在薄膜中分布不均匀等问题。