适用于锂电池充放电保护用的新型开关芯片
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适用于锂电池充放电保护用的新型开关芯片
来源:北方有色网
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简介: 本实用新型涉及一种适用于锂电池充放电保护用的新型开关芯片,属于半导体技术领域。在N‑外延内设置有沟槽,沟槽内壁设置有氧化层,氧化层内填充有多晶硅,多晶硅上方设置有厚氧化层,厚氧化层上方设置有正面金属层,相邻两个沟槽之间的N‑外延表面下方设置有N+源区,N+源区与正面金属层相连,N+衬底底部设置有背面金属层。厚氧化层设置在N‑外延表面上方,相连两个沟槽之间的厚氧化层上设置有接触孔,正面金属层与N+源区通过接触孔相连接;或厚氧化层设置在沟槽内且在多晶硅的上方,厚氧化层的上表面与N‑外延表面持平,正面金属层与N+源区接触连接。本实用新型能够有效降低保护线路成本,降低开关的内阻,提高充放电效率,具有较强的实用性。
本实用新型涉及一种适用于电池充放电保护用的新型开关芯片,属于半导体技术领域。在N‑外延内设置有沟槽,沟槽内壁设置有氧化层,氧化层内填充有多晶硅,多晶硅上方设置有厚氧化层,厚氧化层上方设置有正面金属层,相邻两个沟槽之间的N‑外延表面下方设置有N+源区,N+源区与正面金属层相连,N+衬底底部设置有背面金属层。厚氧化层设置在N‑外延表面上方,相连两个沟槽之间的厚氧化层上设置有接触孔,正面金属层与N+源区通过接触孔相连接;或厚氧化层设置在沟槽内且在多晶硅的上方,厚氧化层的上表面与N‑外延表面持平,正面金属层与N+源区接触连接。本实用新型能够有效降低保护线路成本,降低开关的内阻,提高充放电效率,具有较强的实用性。
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