简介： 本实用新型公开了一种锂离子电池生产用硅片清洗装置，包括壳体，所述壳体的左侧设有预清洗池，且预清洗池的底部设有放置板，所述放置板上放有花篮，且放置板的底部设有伸缩杆，所述预清洗池的右侧为清洗池，且清洗池的底部设有超声波发射器，所述清洗池的右侧壁上设有液体扇，且液体扇的转轴与电机的输出轴连接，所述液体扇的上方设有电磁感应线圈，所述壳体的右端外壁上设有控制台，且控制台的下方设有多个指示灯，所述壳体的顶部设有烘干机。本实用新型通过将预清洗池、清洗池、干燥装置设置在同一个装置中，减少了人工转移的工作量，同时也避免了硅片暴露在空气中。