简介： 本发明的实施方式一般来说涉及锂离子电池，且更明确地说，涉及用于使用形成三维结构的薄膜工艺来制造这些电池的系统和方法。在一个实施方式中，提供一种用于形成能量存储装置的阳极结构。所述阳极结构包括：柔性导电基板；多个导电微结构，所述多个导电微结构形成在所述导电基板上，所述导电微结构包括多个柱状凸出部和树枝状结构，所述树枝状结构形成在所述多个柱状凸出部上；和多个锡颗粒，所述多个锡颗粒形成在所述导电微结构上。在另一实施方式中，所述阳极结构进一步包括锡成核层，所述锡成核层包括锡颗粒，所述锡颗粒形成在所述柔性导电基板上，位于所述柔性导电基板与所述多个导电微结构之间。