简介： 本发明为双阴极等离子制备纳米晶Cr3Si耐冲刷腐蚀合金层的新方法，适用于船舶、石油、化工化纤、采矿和电力等工业领域的过流部件对耐腐蚀磨损的要求，涉及到双阴极等离子溅射沉积工艺以及沉积材料种类。该纳米晶Cr3Si硅化物涂层与普通粗晶Cr3Si硅化物材料相比具有较高的韧性、该涂层与基体之间的结合力大于60N，高于目前公认的涂层与基体的临界结合力达到30N，即可满足工程应用的要求。在流动速度为3m/s的不含砂的3.5wt.％NaCl溶液和含砂的3.5wt.％NaCl溶液冲刷下，耐蚀性和耐冲蚀性能明显优于不锈钢。