简介： 本发明涉及一种用于制备大纵横比铌酸锂波导的化学机械抛光液，包括以下成分及质量百分数：二氧化硅为5‑50％；PH调节剂为0.1‑5％；活性剂为0.02‑1％；络合剂为0.5‑4％；缓蚀剂为0.01‑0.6％；去离子水为余量。本发明中，化学机械抛光液选用的表面活性剂一方面可以降低表面张力，提高质量传输速率，增大流动性；另一方面也对高低选择比起反作用，容易在低处成膜，降低低处的消磨率；因而该抛光液选取了最佳浓度，既可以保证抛光液的流动性不受影响，也保证该抛光液仍具有较大的铬，铌酸锂选择比。