简介： 本发明公开了一种用于全固态锂离子电池电解质膜的制备方法，包括如下步骤：提供Si衬底；制备Li₂O和TiO₂的混合物靶材，并在混合物靶材上贴敷La₂O₃片，在Si上沉积LiLaTiO层；以Li₃PO₄为靶材，利用反应磁控溅射，在LiLaTiO层上沉积第一LiPON层；以Li₃PO₄为靶材，利用反应磁控溅射，在第一LiPON层上沉积第二LiPON层；制备Li₃PO₄与Si₃N₄的第一混合物靶材；以Li₃PO₄与Si₃N₄的第一混合物靶材，利用磁控溅射，在第二LiPON层上沉积第一LiSiPON层；制备Li₃PO₄与Si₃N₄的第二混合物靶材；以及制备Li₃PO4与Si₃N₄的第二混合物靶材，利用磁控溅射，在第一LiPON层上沉积第二LiSiPON层。本发明通过晶格结构的渐变设计，达到了较好的能带结构，提高了材料电导率性能，最终能够显著提高全固态锂离子电池的性能。