简介： 一种用于制备晶态含锂过渡金属氧化物化合物的气相沉积方法，包括：提供该化合物的每个组分元素的蒸气源，该蒸气源包括至少锂源、氧源和一种或多种过渡金属的一个或多个源；将基材加热至大致150℃和大致450℃之间；以及向已加热的基材上共沉积来自蒸气源的组分元素，其中该组分元素在该基材上反应以形成晶态化合物。