简介： 本发明属电化学技术领域,具体涉及用于全固态薄膜锂离子电池负极及其制备方法。包括电极基片、基片表面的负极薄膜,基片表面的负极薄膜为磷化钴薄膜;制备方法是a.将金属钴粉末与赤磷粉混合,混合比例是金属钴比赤磷粉为1∶1～3(摩尔比),混合均匀研磨,压片制成脉冲激光沉积所用的靶;b.将靶和基片放入真空沉积腔内,靶与基片距离25-50mm,工作气体为氩气气氛,基片温度为500-700℃;c.激光器的激光束经透镜聚焦后入射到旋转的靶上,经激光束激发的粒子溅射到基片上。磷化钴薄膜具有良好的电化学性能,化学稳定性好,作为高性能锂离子电池的负极薄膜,具有良好的充放电循环可逆性,。其制备方法简单,节约材料。