超大尺寸铌酸锂晶体的生长装置和方法
首页 企业 产品 技术 资讯 图库 视频 需求 会议 活动 产业
超大尺寸铌酸锂晶体的生长装置和方法
来源:北方有色网
访问:1202
简介: 本发明公开了一种超大尺寸铌酸锂晶体的生长装置和方法,包括铂金坩埚和位于生长装置内的可以旋转升降的籽晶杆;所述铂金坩埚外包覆保温层;所述保温层上缠绕加热线圈;所述籽晶杆穿过保温层并深入铂金坩埚中;所述铂金坩埚的上方设有上窄下宽的水冷罩,所述水冷罩的内部中空;所述水冷罩底端的宽度大于或等于铌酸锂晶体的直径;所述籽晶杆贯穿水冷罩的正中央;所述水冷罩上分别设有进水管和出水管,所述进水管和出水管分别贯穿保温层与外部连通;所述水冷罩上设有控制水冷罩上下移动的升降杆,所述升降杆贯穿保温层。本发明能够解决溶体对流缓慢,晶体生长界面处温度梯度小等问题,适合8~12英寸晶圆的制备。
本发明公开了一种超大尺寸铌酸晶体的生长装置和方法,包括铂金坩埚和位于生长装置内的可以旋转升降的籽晶杆;所述铂金坩埚外包覆保温层;所述保温层上缠绕加热线圈;所述籽晶杆穿过保温层并深入铂金坩埚中;所述铂金坩埚的上方设有上窄下宽的水冷罩,所述水冷罩的内部中空;所述水冷罩底端的宽度大于或等于铌酸锂晶体的直径;所述籽晶杆贯穿水冷罩的正中央;所述水冷罩上分别设有进水管和出水管,所述进水管和出水管分别贯穿保温层与外部连通;所述水冷罩上设有控制水冷罩上下移动的升降杆,所述升降杆贯穿保温层。本发明能够解决溶体对流缓慢,晶体生长界面处温度梯度小等问题,适合8~12英寸晶圆的制备。
0
0
0
0
0
         
标签:加工技术
广州铭谦选矿设备有限公司宣传
广州铭谦选矿设备有限公司宣传
相关技术
评论(0条)
200/200
牛津仪器科技(上海)有限公司宣传
发布
技术

顶部
北方有色网-互联网服务平台-关于我们
Copyright 2025 China-mcc.com All Rights Reserved
备案号:京ICP备11044340号-3
电信业务经营许可证编号:京B2-20242293
京公网安备 11010702002294号