简介： 本文提供了用于锂离子电池电极的纳米结构和制造方法。在一些实施方案中，提供了涂覆有硅基涂层的纳米结构模版。所述硅涂层可以包括非保形的较多孔的富硅SiE_x层和在所述非保形的较多孔层上的保形的较致密的SiE_x层。在一些实施方案中，使用两种不同的沉积工艺：PECVD层以沉积非保形的富硅SiE_x层，和热CVD工艺以沉积保形的层。富硅SiE_x材料可防止硅晶畴生长，限制宏观膨胀，增加锂扩散速率并显著提高锂离子电池充电和放电循环期间的电池寿命。