简介： 本发明公开了一种高容量硅基锂离子电池负极复合膜及其制备方法，包括沉积于基片上的镍钛层和沉积于镍钛层之上的硅层，所述镍钛层与硅层的厚度之比为0.8～5∶1，镍钛层中镍的原子数百分比为49.5～51.5％，其余为钛。通过磁控溅射沉积实现复合膜的制备。本发明的复合膜能够完全发挥硅电极材料的电性能，防止硅电极材料在充放电过程中发生破坏脱落，极大的提高了此类高能量密度锂离子电池的寿命。将本发明的复合膜与纯锂组装成双电极硬币型电池并测试了电容量，在100次循环之后，其电容量仍然保持在至少1100mHA/g，显示了超弹镍钛与硅叠层复合膜电极优异的电容量和良好的循环性能。