简介： 本发明提出的一种抗激光损伤铌酸锂三波段减反射膜的制作方法，利用本方法，可显著地提高光参量振荡中红外激光器中铌酸锂减反射膜的激光损伤阈值，承受100毫焦量级的1065nm激光，保证激光器稳定工作。本发明通过下述技术方案予以实现：以中红外薄膜材料为基础选择薄膜材料，选取ZnS作为高折射率材料，在CaF2、YF3、YbF3中筛选低折射率材料，以1065nm为膜系设计参考波长，在计算机上，设计出三波段减反射膜；使用全自动镀膜机，制作出该镀膜机自动控制用的模板控制文件；根据材料实验结果对石英晶振定标，镀膜机内装入选定的镀膜材料，按选定的模板控制文件自动完成在铌酸锂上制作近、中红外波段具有高的激光损伤阈值的三波段减反射膜减反射膜的制作。