简介： 本申请涉及半导体集成光电子器件技术领域，提供一种三维楔形铌酸锂薄膜波导装置。该三维楔形铌酸锂薄膜波导装置，自下而上包括依次层叠设置的衬底层、绝缘层和铌酸锂层，铌酸锂层包括楔形层和平板层，楔形层包括楔形尖端和楔形尾端，楔形尖端用于匹配光纤模场，楔形尾端用于连接器件功能区域。其中，楔形尖端的厚度小于楔形尾端的厚度，楔形尖端的宽度远小于楔形尾端的宽度和平板层的宽度。本申请在实现水平方向波导模场扩展的基础上，进一步实现了垂直方向波导模场的扩展，从而实现与光纤模场的更进一步匹配，获得更高的纤芯耦合效率。