简介： 一种用于锂离子二次电池的负极薄膜及其制备方法与应用，属于电化学领域。针对Si负极在嵌脱锂过程中体积变化的缺陷，及电极循环性能问题，所述负极薄膜可表示为Si-M，其中M包含Ti、Cu、Ni、Sn中的至少一种，Si含量在50-95wt%之间。其制备方法为：溅射用靶材使用单质Si靶和M靶、Si-M复合靶、Si-M合金靶或Si-M镶嵌靶；在溅射气氛下，对靶材进行溅射，在基底上形成一层Si-M薄膜负极材料。本发明所得到的负极薄膜材料不含粘结剂，膜层致密，与基体结合良好，比表面积/厚度较大，且M元素的加入可在一定程度缓解Si材料在充放电过程中的体积变化所引起的容量衰减，并提供了电子传输通道，从而可以提高Si基负极材料的循环稳定性。