具有陷光结构的钙钛矿光电探测器及制作方法
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具有陷光结构的钙钛矿光电探测器及制作方法
来源:北方有色网
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简介: 本发明公开了一种具有陷光结构的钙钛矿光电探测器及制作方法,包括自下而上依次分布的具有SU8表面纳米陷光阵列的减反层、ITO玻璃衬底、ITO纳米陷光结构、空穴传输层、钙钛矿光活性层、电子传输层,在电子传输层上方设有阴极,在ITO纳米陷光结构上方设有阳极;纳米陷光阵列的减反层为SU‑8减反射膜,减反射膜具有类半球结构的表面减反阵列的陷光结构;ITO纳米陷光结构为具有二维结构孔形或柱形阵列结构。该结构具有良好的陷光效果,增加光程,增强有效光吸收,产生更多的载流子和更大光电流,提高明暗对比度、外量子效率和光电灵敏度。
本发明公开了一种具有陷光结构的钙钛矿光电探测器及制作方法,包括自下而上依次分布的具有SU8表面纳米陷光阵列的减反层、ITO玻璃衬底、ITO纳米陷光结构、空穴传输层、钙钛矿光活性层、电子传输层,在电子传输层上方设有阴极,在ITO纳米陷光结构上方设有阳极;纳米陷光阵列的减反层为SU‑8减反射膜,减反射膜具有类半球结构的表面减反阵列的陷光结构;ITO纳米陷光结构为具有二维结构孔形或柱形阵列结构。该结构具有良好的陷光效果,增加光程,增强有效光吸收,产生更多的载流子和更大光电流,提高明暗对比度、外量子效率和光电灵敏度。
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