简介： 本发明提出的用于全固态薄膜锂离子电池的氧化镍阳极薄膜的制备方法,是采用真空蒸镀方法在基片上沉积NI薄膜,然后结合氧离子发生器辅助的热氧化方法制备氧化镍(NIO)薄膜材料。本发明提出的用于全固态薄膜锂离子电池的氧化镍阳极薄膜的制备方法氧化温度低,成本低,工艺、设备简单,沉积速率高于传统方法,易于获得颗粒尺寸分布均匀、结构完整的纳米晶NIO薄膜,具有良好的电化学性能,可作为全固态薄膜锂离子电池的阳极材料。