简介： 本发明属于电化学技术领域，具体涉及一种锂离子电池阳极薄膜材料及其制备方法。该阳极薄膜材料为纳米过渡金属氮化物Cr1－xFexN(0＜x＜1)。该纳米过渡金属氮化物薄膜是由直流磁控共溅射反应性沉积法获得，反应气体为氮气，沉积薄膜的气体压强为0.7～5.0Pa，溅射电流功率为30－200W，基片温度为25℃－400℃。薄膜的粒子尺寸为150～200nm，立方晶形结构。以上述过渡金属氮化物薄膜作为阳极材料与金属锂组成电池后，均存在多步放电平台。在电压范围3.5－0.1V和电流密度28μA/cm2时，上述薄膜电极具有良好的充放电循环可逆性，其比容量在1000mAh/g以上，经50次循环后无明显的衰减，其性能优于目前使用的各种薄膜阳极材料。