简介： 本发明提供一种微纳集成固态薄膜锂电池及其制备方法，其包括衬底及形成在所述衬底之上的多个薄膜锂电池微单元，所述衬底上设有导电线路，多个所述薄膜锂电池微单元与导电线路电连接，所述薄膜锂电池微单元包括在衬底上依次形成的两个独立设置的集流体、正电极膜、固态电解质膜及负电极膜，其中，两个集流体分别电连接至所述导电线路，其中一集流体与正电极膜电接触，另一集流体与负电极膜电接触，所述固态电解质膜设于所述正电极膜与所述负电极膜之间。本发明的微纳薄膜固态锂电池能够满足高电压、高能量密度、高功率密度的使用需求。