简介： 本发明公开了一种利用微波近场技术表征铌酸锂波导的方法，使用原子力显微镜微波近场探针的尖端在铌酸锂波导的表面扫描。具体步骤如下：将微波信号通过定向耦合器和传输线传导进入探针的尖端，微波信号在铌酸锂波导的表面反射后进入定向耦合器，反射的微波信号和一路消除信号同时经过放大器的放大进入混频器解调，得到两组直流信号，这两组直流信号分别对应于探针的尖端与铌酸锂波导之间的阻抗实部和虚部，即电阻R和电容C。本发明的方法实现了快速、无损的鉴别出铌酸锂波导的分界区域、有无表面裂纹，对于更好的制备铌酸锂质子交换波导提供了实验依据。