简介： 本发明涉及锂电池制造装备技术领域，特别是一种真空隧道腔；包括真空过渡腔、真空工作腔和输送机构，需要在真空环境进行加工的一个或多个加工装置设置在真空工作腔中，真空过渡腔与真空工作腔相连接；通过设置真空隧道腔，不管是从大气环境中输送物料到真空工作腔内，还是从真空工作腔内输送物料到大气环境中，都能保证真空工作腔内一直处于真空状态，因此设置在真空工作腔内并且需要在真空环境进行加工的加工装置能持续进行加工，有效地提高了加工效率；本发明还提供一种包括上述真空隧道腔的锂电池加工设备，设置有上述真空隧道腔的锂电池加工设备能有效地提高锂电池的产能。