简介： 本发明公开了一种钴酸锂靶材及其制备方法，该靶材的纯度大于等于99.9%、相对密度大于等于98%、平均晶粒尺寸小于等于50微米。该靶材制备方法包括以下步骤：（1）提供钴酸锂粉末，并将其液压成型为坯件；（2）对所述的坯件进行冷等静压加工；（3）将经过步骤（2）的坯件置于炉中进行烧结，烧结过程采用了多阶段升温加压的方式。按照本发明方法制备的钴酸锂靶材，其晶粒尺寸细小且致密度高。在适当条件下，溅射这些靶材能获得性能优良的薄膜，从而提高全固态薄膜锂离子电池的储能量和循环次数。