简介： 本发明涉及一种磷酸锰铁锂靶材及其制备方法，所述磷酸锰铁锂靶材为磷酸锰铁锂材料与导电碳单质的混合物，相对密度≥95％，其中所述磷酸锰铁锂材料化学通式为LiyMn1‑xFexPO4，其中0≤x≤1，0.99≤y≤1.2，磷酸锰铁锂材料纯度≥99.9％，平均晶粒尺寸≤10微米，导电碳单质的质量分数为0～10％的碳。本发明提供的磷酸锰铁锂靶材可进一步制备得到高性能的磷酸锰铁锂薄膜材料及全固态薄膜锂离子电池。