钛扩散铌酸锂薄膜偏振控制器及其制造方法
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钛扩散铌酸锂薄膜偏振控制器及其制造方法
来源:北方有色网
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简介: 本发明公开了一种钛扩散铌酸锂薄膜偏振控制器及其制造方法,包括输入光纤、输出光纤、基底、三个缓冲层、两层电极;从所述基底(1)往上依次为所述二氧化硅下缓冲层(2)和所述下层金电极(3),所述下层金电极(3)之上再设置铌酸锂薄膜(5),所述铌酸锂薄膜(5)的+X向表面中间、沿晶体的Z方向设置钛扩散铌酸锂条波导(6);所述二氧化硅上缓冲层(7)设置于铌酸锂薄膜(5)的上表面;所述上层金电极(8)设置于所述二氧化硅上缓冲层(7)的上表面;所述输入光纤、输出光纤分别与耦合封装在钛扩散铌酸锂条波导(6)上。本发明机械性能稳定、耐高温、抗腐蚀,具有较大的折射率和介电常数,制造方法降低了生产难度,提高了成品率。
本发明公开了一种钛扩散铌酸薄膜偏振控制器及其制造方法,包括输入光纤、输出光纤、基底、三个缓冲层、两层电极;从所述基底(1)往上依次为所述二氧化硅下缓冲层(2)和所述下层金电极(3),所述下层金电极(3)之上再设置铌酸锂薄膜(5),所述铌酸锂薄膜(5)的+X向表面中间、沿晶体的Z方向设置钛扩散铌酸锂条波导(6);所述二氧化硅上缓冲层(7)设置于铌酸锂薄膜(5)的上表面;所述上层金电极(8)设置于所述二氧化硅上缓冲层(7)的上表面;所述输入光纤、输出光纤分别与耦合封装在钛扩散铌酸锂条波导(6)上。本发明机械性能稳定、耐高温、抗腐蚀,具有较大的折射率和介电常数,制造方法降低了生产难度,提高了成品率。
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