简介： 本发明公开了一种锂氮共掺杂金刚石薄膜的制备方法。在预先沉积有金刚石薄膜的衬底表面涂覆一层含有锂源的悬浮液，待干燥后将其放入热丝化学气相沉积系统的反应腔中，在氢气气氛中通过加热使含有锂源的粉末融化并使锂扩散进入金刚石；然后进一步采用热丝化学气相沉积方法在含氮气氛中沉积锂氮共掺杂金刚石薄膜。该锂氮共掺杂金刚石薄膜表面功函数低，在热作用和电场作用下易发射电子，可用于热电子能量转换器件和场发射显示器件。