简介： 本发明涉及一种三维限制大面积钙钛矿单晶薄膜X射线探测器阵列的制备方法，包括：在衬底层上制备金属阵列电极；在金属阵列电极上制备第一图形层；刻蚀金属阵列电极上的PMMA层和第一光刻胶，形成隔离槽；在隔离槽上滴加MAPbI3过饱和溶液；在第一光刻胶和MAPbI3过饱和溶液上覆盖软板；在加热的条件下，同时移除软板，以在金属阵列电极上形成MAPbI3单晶薄膜阵列；去除剩余的PMMA层和第一光刻胶，以完成钙钛矿单晶薄膜X射线探测器阵列的制备。本发明的方法制备的晶体阵列具有与块体钙钛矿型单晶相当的高晶体质量，其厚度、面积可控。