简介： 本发明属于锂离子薄膜电池技术领域,具体为一种用于锂离子电池的V2ON电极材料及其制备方法。本发明结合直流反应溅射和后退火工艺制备V2ON薄膜,薄膜的颗粒尺寸为100-200nm,厚度为100-700nm。该薄膜作为电极材料,可逆比容量达900mAh/g,在反复充放电过程中表现出优良的电化学性能。该种薄膜电极材料比容量高,循环性能好,制备方法简单,适用于薄膜锂离子电池。