微机械薄膜锂铌酸锂电光装置
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微机械薄膜锂铌酸锂电光装置
来源:北方有色网
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简介: 提供了由薄膜铌酸锂制成的光学装置及其制造。在一些实施方式中,光学装置包括基板和设置在所述基板上的光波导。所述光波导包含铌酸锂。所述光波导具有沿所述基板横向延伸的中央脊。电极对设置在所述光波导的所述中央脊的相对侧。
提供了由薄膜铌酸制成的光学装置及其制造。在一些实施方式中,光学装置包括基板和设置在所述基板上的光波导。所述光波导包含铌酸锂。所述光波导具有沿所述基板横向延伸的中央脊。电极对设置在所述光波导的所述中央脊的相对侧。
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