简介:
本发明公开一种改善锂电池正极集电极电性能的方法,包括步骤:1)将要处理的铜箔在净化房内裁切,并将裁切后的铜箔固定在基片架上;2)开启连续式真空磁控溅射镀膜设备,调整设备至可镀膜工艺条件;3)将固定有铜箔的基片架投入所述设备;4)离子源开启,离子源产生等离子体,等离子体内的高能粒子高速轰击铜箔表面,剥离铜箔表面的氧化层打掉,同时对铜箔表面尖峰轰击削平;5)开启直流磁控溅射阴极,阴极产生的等离子体轰击铜靶材,溅射出来的铜离子在电场作用下运动至铜箔表面沉积成铜膜;6)加热退火处理温度为80‑200℃;7)铜箔出料,经检测后真空包装。本发明利用真空磁控溅射镀膜技术,减小电解铜箔粗糙度,提高甚低轮廓铜箔电性能。
本发明公开一种改善
锂电池正极集电极电性能的方法,包括步骤:1)将要处理的
铜箔在净化房内裁切,并将裁切后的铜箔固定在基片架上;2)开启连续式真空磁控溅射镀膜设备,调整设备至可镀膜工艺条件;3)将固定有铜箔的基片架投入所述设备;4)离子源开启,离子源产生等离子体,等离子体内的高能粒子高速轰击铜箔表面,剥离铜箔表面的氧化层打掉,同时对铜箔表面尖峰轰击削平;5)开启直流磁控溅射阴极,阴极产生的等离子体轰击铜靶材,溅射出来的铜离子在电场作用下运动至铜箔表面沉积成铜膜;6)加热退火处理温度为80‑200℃;7)铜箔出料,经检测后真空包装。本发明利用真空磁控溅射镀膜技术,减小
电解铜箔粗糙度,提高甚低轮廓铜箔电性能。