简介： 本发明提供了一种定量探测类钙钛矿薄膜的氧八面体旋转和电荷密度波晶格畸变的方法，先在衬底上生长类钙钛矿薄膜，再退火得到产生氧缺陷及晶格畸变的薄膜样品；放在衍射仪中，通过设定不同(H,K,L)得到不同的半指数峰强度值I(H,K,L)。将氧原子位置(u_n，v_n，w_n)与薄膜样品的氧八面体旋转角度α，β，γ和晶格畸变度Δ之间建立模型，形成I_exp与氧八面体旋转角度α，β，γ及晶格畸变度Δ之间的方程关系，再将多组(H,K,L，I_exp)代入衍射方程中，使用基于遗传算法的非线性寻优算法得到氧八面体旋转角度α，β，γ和晶格畸变度Δ。上述方法能够准确测定类钙钛矿氧化物薄膜的氧八面体旋转角度和晶格畸变程度。