简介： 本发明公开了一种自驱动钙钛矿光电探测器及其制备方法，属于半导体光电探测器制备技术领域。其制备在于：首先采用金属热蒸发工艺，通过掩膜版在玻璃衬底上沉积左侧底部金电极，然后利用溶胶凝胶法，在沉积好左侧底部金电极的玻璃衬底上形成甲基氨基碘化铅感光层，最后通过掩膜版在感光层表面制备右侧顶部金电极，形成自驱动钙钛矿光电探测器。本发明的光电探测器在零伏偏压下，在可见光波段，能够将光信号很好的转化为电信号，表现出良好的自驱动特性。以3mW/cm²的650nm波长光照为例，器件的响应度为10mA/W，探测率为2.9×10¹¹Jones，开关比达到10⁴。且本发明工艺简单，可明显降低器件制备成本。