简介： 本发明属于光电探测技术领域，涉及一种基于稀土离子掺杂钙钛矿纳米晶体的深紫外光电探测器及其制备方法。本发明的深紫外光电探测器从下至上依次包括衬底层、金属层、钙钛矿纳米颗粒层与电极层，钙钛矿纳米颗粒层以ABX₃钙钛矿纳米晶体为基质材料，其中掺杂稀土离子组成。本发明通过稀土离子大大提高CsPbX₃在深紫外线区域的光吸收强度，而且还可以增加钙钛矿的电学性能，例如降低表面缺陷和改善载流子迁移率。并且在钙钛矿层下方旋涂了Al薄膜之后，大幅度提高了CsPbX₃在深紫外线区域的光吸收强度。通过结合这些材料和结构优势，获得了具有极低暗电流，高灵敏度和快速响应时间的深紫外光电探测器。