简介： 本发明公开了一种阴极荧光共聚焦显微光谱成像系统和方法，属于阴极荧光成像技术领域。该系统包括扫描电子显微镜、抛物面镜、光学聚焦模块和信号接收装置；所述的光学聚焦模块包括扫描透镜组、二维扫描振镜和透镜；从扫描电子显微镜侧面的透明窗口出射的阴极荧光信号经扫描透镜组准直后入射到二维扫描振镜上，通过二维扫描振镜调整光学聚焦模块与扫描电子显微镜处于共聚焦状态，本发明解决了电子束在扫描过程中收集到的阴极荧光信号的偏转问题，提高了阴极荧光光谱的测量准确度，适合于各类地质矿物、半导体材料、纳米材料以及生物药物的检测分析。