简介： 本发明公开了一种高稳定、低暗电流全无机钙钛矿光电探测器及其制备方法。所述倒置结构光电探测器包括透明导电正电极、超薄氧化铝层、全无机钙钛矿光吸收层、电子传输层、金属负电极。所述制备方法是采用ALD沉积超薄氧化铝薄膜和氧化钛薄膜，制得器件暗电流低、稳定性高，器件暴露空气超过100天仍然表现出良好的光电性能。在钙钛矿与金属电极界面引入超薄氧化钛薄膜，实现界面能带匹配，提高器件了响应速度和灵敏度。本发明制备方法适用于柔性探测器制作，为实现无机钙钛矿光电探测器及其柔性器件产业化，提供一种有效、可行、低成本的方案。