简介:
一种具有恒温控制功能的半导体激光器件的制造方法,是在现有半导体激光器芯片制造技术的基础上,将半导体激光器芯片、半导体热电制冷器、负温度系数的热敏电阻有机地集成在一体。包括:半导体衬底、第一层二氧化硅层、n型缓冲层、n+欧母接触层、n电极、n型帽层、p型帽层、P电极、p+欧母接触层、集成TEC热电致冷器、半导体激光器有源区、第二层二氧化硅层、NTC薄膜电阻、NTC薄膜电阻金属电极、热电致冷器球型电极。达到温度精确控制、高可靠的目的,以解决半导体激光器光电性能参数的精准控制。广泛应用于环境气氛探测、通讯、航天、航空、船舶、精密仪器、地质勘探、石油勘探、野外作业、工业控制等领域,具有广阔的市场前景。
一种具有恒温控制功能的半导体激光器件的制造方法,是在现有半导体激光器
芯片制造技术的基础上,将半导体激光器芯片、半导体热电制冷器、负温度系数的热敏电阻有机地集成在一体。包括:半导体衬底、第一层二氧化硅层、n型缓冲层、n+欧母接触层、n电极、n型帽层、p型帽层、P电极、p+欧母接触层、集成TEC热电致冷器、半导体激光器有源区、第二层二氧化硅层、NTC薄膜电阻、NTC薄膜电阻金属电极、热电致冷器球型电极。达到温度精确控制、高可靠的目的,以解决半导体激光器光电性能参数的精准控制。广泛应用于环境气氛探测、通讯、航天、航空、船舶、精密仪器、地质勘探、石油勘探、野外作业、工业控制等领域,具有广阔的市场前景。